DC電源、MF電源、RF電源、アーク電源、バイアス電源など
KT＆DPMシリーズオイル拡散ポンプ、ロータリーベーン真空ポンプ、ルーツポンプ、ターボ分子ポンプなど。
ロータリー真空ポンプオイルと拡散ポンプオイル
タングステン線、アルミニウム線、銅線、チタンターゲット、ジルコニウムターゲット、クロムターゲット、長方形ターゲット、平面陰極ターゲット、柱状ターゲットなど。
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