真空コーティングマシンでコーティングする前にワークピースのクリーニングステップ- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

基板のコンパクトさと同様に、基板のコンパクトさを真空コーティング機に吊るす前に、油染色、染み、ほこりを除去してきれいな状態にし、コーティングを確実にするために、膜のコンパクトさと膜のコンパクトさを改善するためには、膜のコンパクトさを改善するために。

1。真空加熱洗浄

ワークピースは、通常の圧力または真空下で加熱されます。洗浄の目的を達成するために、表面上の揮発性不純物の蒸発を促進します。この方法の洗浄効果は、ワークピースの周囲圧力、真空中の保持時間の長さ、加熱温度、汚染物質の種類、ワークの材料に関連しています。原則は、ワークを加熱することです。水分子とその表面に吸着されたさまざまな炭化水素分子の強化された脱着を促進します。脱着増強の程度は温度に依存します。超高真空の下では、原子的にきれいな表面を得るために、加熱温度は450度を超える必要があります。暖房洗浄方法は特に効果的です。しかし、時には、このアプローチにも副作用があります。加熱の結果として、一部の炭化水素はより大きな凝集体に凝集し、同時に炭素残基に分解することが起こるかもしれません

2。紫外線照射洗浄

紫外線を使用して、表面上の炭化水素を分解します。たとえば、15時間空気にさらされると、きれいなガラス表面が生成されます。適切に洗浄された表面がオゾン生成のUV源に配置されている場合。きれいな表面は数分で作成できます（プロセスクリーン）。これは、オゾンの存在が洗浄速度を増加させることを示しています。洗浄メカニズムは次のとおりです。紫外線照射下では、汚れ分子は励起され、解離し、オゾンの生成と存在は非常に活性な原子酸素を生成します。励起された汚れ分子と汚れの解離によって生成されたフリーラジカルは、原子酸素と相互作用します。よりシンプルでより揮発性分子が形成されます。 H2O3、CO2、N2など。反応速度は、温度の上昇とともに増加します。

3。排出洗浄

この洗浄方法は、高真空および超高真空システムの洗浄と脱気に広く使用されています。特に真空コーティング機で使用されます。ホットワイヤまたは電極が電子源として使用されます。洗浄するために表面に負のバイアスを適用すると、特定の炭化水素のイオン爆撃と除去によりガス脱着が得られます。洗浄効果は、電極材料、形状、および表面との関係に依存します。つまり、単位の表面積あたりのイオンとイオンエネルギーの数に依存します。それにより、利用可能な電力に依存します。真空チャンバーは、適切な部分圧で不活性ガス（通常はARガス）で満たされています。洗浄は、2つの適切な電極間の低電圧でのグロー放電によりイオン爆撃によって達成できます。この方法で。不活性ガスはイオン化され、真空チャンバーの内壁、真空チャンバー内の他の構造部品、および播種する基板を砲撃します。一部の炭化水素のより良い洗浄結果は、酸素を帯電ガスに加えた場合に得ることができます。酸素は特定の炭化水素を酸化して、真空システムによって簡単に除去される揮発性ガスを形成できるためです。ステンレス鋼の高真空と超高真空容器の表面上の不純物の主な成分は、炭素と炭化水素です。一般に、その中の炭素は単独で揮発することはできません。化学洗浄後、Glow排出洗浄のためにARまたはAR O2混合ガスを導入する必要があります。これにより、化学作用により表面に不純物が除去されます。グロー排出洗浄中。重要なパラメーターは、印加電圧（ACまたはDC）のタイプ、排出電圧の大きさ、電流密度、充電されるガスのタイプ、および圧力です。砲撃の期間。電極の形状と、洗浄する部品の材料と位置など。

4。ガスフラッシング

（1）窒素フラッシング

窒素が材料の表面に吸着されている場合、吸着エネルギーが小さいため、表面保持時間は短いです。デバイスの壁に吸着されていても、簡単に汲み出されます。窒素のこの特性を使用して真空システムを洗い流すと、システムのポンプ時間を大幅に短縮できます。たとえば、真空コーティング機が大気中に入れる前に、真空チャンバーを乾燥窒素で満たして大気中に満たす前に、ニトロゲンの吸着エネルギーが水vaporの分子であるため、窒素の吸着エネルギーが水vaporで満たされた後、水蒸気帯よりもはるかに小さいため、次のポンピングサイクルのポンピング時間を短くすることができます。真空チャンバー壁。吸着部位は固定されているため、最初に窒素分子で満たされ、吸着した水分子は非常に少ないため、ポンプ時間が短くなります。システムが拡散ポンプのオイルスプラッシュによって汚染されている場合、窒素フラッシング法を使用して汚染されたシステムをきれいにすることもできます。一般的に、システムを焼いて暖房している間、窒素ガスでシステムを洗い流すことで油汚染を排除することができます。

（2）反応性ガスフラッシング

この方法は、大きな超高ステンレス鋼の真空コーナーの内部洗浄（炭化水素汚染の除去）に特に適しています。通常、いくつかの大きな超高真空システムの真空チャンバーと真空成分の場合、原子的浄化表面を取得するために、表面汚染を排除する標準的な方法は、化学洗浄、真空炉の焙煎、グロー排出洗浄、元のエネルギーロースト真空システム、およびその他の方法です。上記の洗浄および脱ガス方法は、真空システムの組み立ての前後に一般的に使用されます。真空システムがインストールされた後（またはシステムが動作した後）、真空システム内のさまざまなコンポーネントが修正されているため、真空システムのさまざまなコンポーネントを廃止することは困難です。システムが（誤って）汚染されている（主に大きな原子数）分子が炭化水素汚染などの分子を取り外して、取り付け前に解体し、再処理されます。反応性ガスプロセスを使用すると、in-situオンラインの脱気を実行できます。ステンレス鋼の真空チャンバー内の炭化水素の汚染を効果的に除去します。その洗浄メカニズム：システムでは、酸化ガス（O2、N0）と還元ガス（H2、N H3）が、原子的浄化金属表面を得るために、汚染を排除するために金属表面で化学反応洗浄を実行するために、システムで引用されています。表面の酸化/還元速度は、金属表面の汚染と材料に依存します。表面反応速度は、反応ガスの圧力と温度を調整することにより制御されます。各基質について、正確なパラメーターは実験的に決定されます。これらのパラメーターは、異なる結晶学的方向に対して異なります。

2007年に以前の名前Huahong真空テクノロジーとして設立されました。中国の真空アクセサリーサプライヤーそして真空アクセサリーメーカースパッタリングシステム、光学コーティングユニット、バッチメタライザー、物理的蒸気堆積（PVD）システム、ハードおよび耐摩耗性真空コーティング堆積装置、ガラス、PE、PC基板コーティング、ロールツーロール柔軟な基板を含むがこれらに限定されません。マシンは、自動車、装飾、ハードコーティング、ツールおよび金属切削コーティング、および大学を含む産業および研究所向けの薄膜コーティングアプリケーションの幅広いアプリケーションに使用されます。当社は、国内および国際市場でのアフターセールスサービスに非常に焦点を当てており、顧客を満たすための正確な部品処理計画と専門的なソリューションを提供しています。

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