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1.デガス：材料からのガスの人工脱着。
2.アウトガス：ガスは自然に材料から脱着されます。
3.QGU脱着またはアウトガスまたは脱ガス速度：特定の時間間隔内で、材料からの脱着（またはデフレットまたは脱ガス）のガス流量（または分子流量）は、時間と表面積によって分割されます。 中国のプラズマコーティングマシンサプライヤー
4.出発率：特定の時間間隔内で表面から蒸発した分子（または質量または質量）の数を時間と表面積で割った。
5.走行時間：大気圧からベース圧力へのポンプ、または比較的低い圧力で動作する真空ポンプの圧力を開始するために、前段階の真空ポンプまたは前段階の真空ポンプ装置に必要な時間。
6.ポンプダウン時間：基本圧力に到達するのに必要な時間など、大気圧から特定の圧力への真空システムの圧力を減らす。
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