ダイヤモンド様炭素（DLC）PVDコーティング- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

ダイヤモンド様炭素（DLC）PVDコーティング

ダイヤモンド様炭素（DLC）コーティングは、PVDおよびPACVDコーティングの組成と技術の中で、Richter Precision Inc.の特定の専門分野であり、DLCコーティングは独特のカテゴリとして際立っています。これらのコーティングは、低摩擦係数と微小硬度が高いという望ましい組み合わせを示しており、多くのトリビロジーおよび摩耗アプリケーションで効果的になります。

DLCコーティングは、イオン化および分解された炭素または炭化水素種が、通常10-300EVのエネルギーを持つ基質の表面に着地するときに形成されます。 DLCフィルムは、例外的な機械的（高硬度）、光学（光学バンドギャップ）、電気（高電気抵抗率）、化学（不活性）およびトライボロジー（低摩擦係数および摩耗係数）特性を持ち、低基質温度（〜200°C）で堆積することができます。

DLCフィルムは一般にアモルファス（つまり、支配的な結晶格子構造がありません）であり、SP2（グラファイト）とSP3（ダイヤモンド）相の混合物で構成されています。フィルムの制御 DLCコーティングマシン特性は、選択した堆積技術（PVDスパッタまたは蒸発およびPA-CVD）のフラックス特性、フィルム内の金属および水素含有量、SP2：SP3比、基質バイアス電圧、イオンエネルギーおよびイオン密度、および基質温度に強く依存しています。鋼に対するDLCフィルム摩擦係数は一般に0.05-0.20の範囲であり、フィルムの硬度とSP3コンテンツは特定のアプリケーションに合わせて調整できます。 DLC（ME-DLCまたはA-C：H：ME）を含む金属および水素は、35％SP3、金属フリーDLC（C-DLCまたはA-C：H）の範囲で硬度を示します。通常1500-4000HV（C-DLCまたはA-C：H）は最大75％SP3であり、四面体アモルファスカーボン（TA-C）は80-9000HVで4000-9000HVになります。

Richter Precision Inc.は、DLC相構成の完全な範囲を提供するため、選択可能な機械的および物理的特性の可能な限り幅広い範囲を提供します。ツールおよび/またはアプリケーションの特性は、どのDLCコーティング構造が最適かを決定します。利用可能なDLCコーティング構成の完全なリストについては、以下の表をご覧ください。

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