マグネトロンスパッタされたフィルムの不均一性を解決するにはどうすればよいですか？

、磁場の均一性と方向を保証して、比較的均一な空間磁場を形成する必要があります。

第二に、空気圧の均一性を可能な限り保証する必要があります。真空チャンバーを設計するとき、真空ポンプの設置位置、方法蒸発真空コーティング機工場プロセスのガス摂取量とチャンバー内のプロセスパイプのレイアウトを考慮する必要があります。

第三に、磁場と空気圧は絶対に理想的ではないため、磁場は、最終的なフィルムを均一にするための空気圧の不均一性によって補償することができます。