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コーティングの一般的な欠陥の分析(2)

Update:22-03-2022
Summary: メンブレンホワイトフォグ 現象:後 コーティング 完成すると、表面に薄い白い霧があります。アセトンや混合液で拭くと、ますます深刻になります。拭き取るか軽くすることができる...
メンブレンホワイトフォグ
現象:後 コーティング 完成すると、表面に薄い白い霧があります。アセトンや混合液で拭くと、ますます深刻になります。拭き取るか軽くすることができる酸化セリウム粉末で拭きます(また:拭き取り可能なグラム)
分析:膜の外側の白い霧の原因はより複雑であり、考えられる原因は次のとおりです。
①、フィルム構造の問題:外側フィルムの柱状構造が緩んでおり、外側フィルムが粗すぎる。
②、蒸発角が大きすぎて、膜構造が粗い。
③、温度差:レンズがカバーから外れていると、内側と外側の温度差が大きすぎます。
④、湿気;レンズがカバーから外れた後の環境の湿気
⑤。ポリコールドを真空チャンバー内で解凍すると、水蒸気が重すぎます
✧。蒸発中の不完全な酸素化と不均一な膜構造
✧、フィルムとフィルムの間のストレス
改善のアイデア:膜の外側の白い霧の原因はたくさんありますが、それぞれに独自の特徴があります。適切な薬を処方してみてください。主なアイデアは、吸着しにくい膜をより緻密で滑らかにすることであり、2つ目は、環境を改善し、吸着対象を減らすことです。
戦略を改善する:
1.フィルムシステムを改善し、外層にシリカを追加して、フィルムの表面を滑らかにし、吸着しにくくします。レンズが出てきたときの環境を改善する(ドライ、クリーン)
2.レンズがカバーから外れているときは、レンズの温度を下げて(真空チャンバー内の冷却時間を延長して)、温度差を減らし、ストレスを減らします。
3.酸素化を改善(増加)し、膜構造を改善します。
4.蒸発速度を適切に下げ、柱状構造を改善します
5.フィルム構造を改善するためのイオンアシストコーティング
6.ポリコールドが解凍されたら、小さなインフレーションバルブを追加します(その機能は、時間内に水蒸気を取り除くことです)
7.蒸発源と器具からの蒸発角度を改善する方法を見つけます。
8.基板の表面粗さを改善します。
9.ポリコールドを解凍するときの真空度に注意してください。

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