真空コーティング機でコーティングする前のワークピースの洗浄ステップ

基板の表面へのめっき膜の密着性と滑らかさ、およびフィルムの緻密さを改善するために、基板を真空コーティング機に吊るす前に、予備洗浄ステップを実行して、油汚れ、汚れ、ほこり、汚れがないことを確認してからコーティングします。

1.掃除機

ワークは常圧または真空下で加熱されます。表面の揮発性不純物の蒸発を促進し、洗浄の目的を達成します。この方法の洗浄効果は、ワークピースの大気圧、真空中での保持時間の長さ、加熱温度、汚染物質の種類、およびワークピースの材料に関連しています。原理は、ワークピースを加熱することです。水分子とその表面に吸着されたさまざまな炭化水素分子の脱着の促進を促進します。脱着促進の程度は温度に依存します。超高真空下では、原子的にきれいな表面を得るために、加熱温度は450度より高くなければなりません。特に加熱洗浄法が効果的です。ただし、このアプローチには副作用が生じる場合もあります。加熱の結果、一部の炭化水素が凝集してより大きな凝集体になり、同時に炭素残留物に分解することがあります。

2.紫外線照射洗浄

表面の炭化水素を分解するために紫外線を使用します。たとえば、空気に15時間さらすと、ガラスの表面がきれいになります。適切に事前に洗浄された表面がオゾン発生UV源に配置されている場合。きれいな表面を数分で作成できます（プロセスクリーン）。これは、オゾンの存在が洗浄速度を上げることを示しています。洗浄メカニズムは次のとおりです。紫外線照射下では、汚れ分子が励起されて解離し、オゾンの生成と存在によって高活性の原子状酸素が生成されます。励起された汚れ分子と汚れの解離によって生成されたフリーラジカルは、原子状酸素と相互作用します。より単純でより揮発性の分子が形成されます。 H2O3、CO2、N2など。反応速度は温度の上昇とともに増加します。

3.排出洗浄

この洗浄方法は、高真空および超高真空システムの洗浄および脱気に広く使用されています。特に真空コーティング機で使用されます。電子源として熱線または電極が使用されます。洗浄する表面に負のバイアスをかけると、イオン衝撃によるガス脱着と特定の炭化水素の除去を実現できます。洗浄効果は、電極の材質、形状、および表面との関係によって異なります。つまり、単位表面積あたりのイオン数とイオンエネルギーに依存します。それにより、それは利用可能な電力に依存します。真空チャンバーは、適切な分圧で不活性ガス（通常はArガス）で満たされています。洗浄は、2つの適切な電極間の低電圧でのグロー放電によるイオン衝撃によって達成できます。この方法で。不活性ガスはイオン化され、真空チャンバーの内壁、真空チャンバー内の他の構造部品、およびめっきされる基板に衝突します。これにより、一部の真空システムは高温ベーキングを免除される可能性があります。充填ガスに酸素を加えると、一部の炭化水素の洗浄結果が向上します。酸素は特定の炭化水素を酸化して揮発性ガスを形成し、真空システムで簡単に除去できるためです。ステンレス鋼の高真空および超高真空容器の表面の不純物の主成分は、炭素と炭化水素です。一般に、その中の炭素は単独で揮発することはできません。化学的洗浄後、グロー放電洗浄のためにArまたはAr O2混合ガスを導入する必要があります。これにより、表面の不純物や化学的作用によって表面に結合したガスが除去されます。グロー放電洗浄で。重要なパラメータは、印加電圧のタイプ（ACまたはDC）、放電電圧の大きさ、電流密度、充電されるガスのタイプ、および圧力です。爆撃の期間。電極の形状、洗浄する部品の材質、位置など。

4.ガスフラッシング

（1）窒素フラッシング

材料の表面に窒素を吸着させると、吸着エネルギーが小さいため、表面保持時間が非常に短くなります。装置の壁に吸着していても、ポンプで排出しやすいです。窒素のこの特性を使用して真空システムを洗浄すると、システムのポンプ時間を大幅に短縮できます。たとえば、真空コーティング機を大気に放出する前に、まず真空チャンバーに乾燥窒素を充填してフラッシュし、次に大気に充填すると、次のポンプサイクルのポンプ時間が半分近く短縮されます。窒素の吸着エネルギーは水蒸気分子よりはるかに小さく、真空下で窒素を満たした後、窒素分子は最初に真空チャンバーの壁に吸着されます。吸着サイトが固定されているため、最初に窒素分子で満たされ、吸着される水分子が非常に少なく、ポンピング時間が短縮されます。拡散ポンプのオイルスプラッシュによってシステムが汚染されている場合は、窒素フラッシング法を使用して汚染されたシステムを洗浄することもできます。一般に、システムをベーキングおよび加熱している間、システムを窒素ガスで洗い流すことで油汚染をなくすことができます。

（2）反応性ガスフラッシング

この方法は、大型の超高ステンレス鋼真空コーターの内部洗浄（炭化水素汚染の除去）に特に適しています。通常、一部の大型超高真空システムの真空チャンバーと真空コンポーネントの場合、原子的に清浄な表面を得るために、表面汚染を排除するための標準的な方法は、化学洗浄、真空炉焙焼、グロー放電洗浄、および元のエネルギー焙煎真空システムです。およびその他の方法。上記の洗浄および脱気方法は、真空システムの組み立て前および組み立て中に一般的に使用されます。真空システムを設置した後（またはシステムの稼働後）、真空システムのさまざまなコンポーネントが固定されているため、真空システムのさまざまなコンポーネントを脱気することは困難です。システムが（偶然に）汚染されると（主に大きな原子番号）、炭化水素汚染などの分子は通常、設置前に解体され、再処理されます。反応性ガスプロセスを使用すると、その場でオンラインデガッシングを実行できます。ステンレス鋼の真空チャンバー内の炭化水素の汚染を効果的に除去します。その洗浄メカニズム：システムでは、酸化ガス（O2、N0）と還元ガス（H2、N H3）がシステムで引用され、金属表面で化学反応洗浄を実行して汚染を排除し、原子的に清浄な金属を取得します表面。表面の酸化/還元の速度は、汚染と金属表面の材料に依存します。表面反応速度は、反応ガスの圧力と温度を調整することによって制御されます。各基板について、正確なパラメータは実験的に決定されます。これらのパラメータは、結晶学的配向によって異なります。

2007年にHuahongVacuumTechnologyの旧名として設立され、専門家です 中国真空アクセサリーサプライヤー と 真空アクセサリーメーカー 、スパッタリングシステム、光学コーティングユニット、バッチメタライザー、物理蒸着（PVD）システム、耐摩耗性および耐摩耗性の真空コーティング堆積装置、ガラス、PE、PC基板コーター、フレキシブルコーティング用のロールツーロールマシンを含みますが、これらに限定されません。基板。機械は、以下に説明する幅広い用途に使用されます（ただし、これらに限定されません）自動車、装飾、ハードコーティング、工具および金属切削コーティング、および大学を含む産業および研究所向けの薄膜コーティング用途Danko Vacuum Technology Company Ltd.高品質、高性能、卸売真空アクセサリーの価格を提供することにより、市場の境界を拡大します。当社は、国内および国際市場でのアフターサービスに重点を置いており、お客様のニーズを満たすための正確な部品処理計画と専門的なソリューションを提供しています。