1.メンテナンスポンプ：バキュームシステムでは、風量が非常に少なく、フロントポンプが有効に使用できません。この目的のために、メンテナンスポンプと呼ばれるメインポンプをメンテナンスするための小さな補助ポンプが装備されています。拡散ポンプの出口に小型のロータリーベーンポンプが設置されている場合、それはメンテナンスポンプです。 中国PVDコーティング機サプライヤー
2.真空コーティング：真空中で基板上にフィルムを作製する方法。
3.基質：膜受容体。
4.試験基板：コーティング開始時、コーティング中、またはコーティング後に測定および/またはテストに使用される基板。
5.コーティング材：フィルムの原料として使用される原料。
6.スパッタリング材料：真空スパッタリングでのスパッタリングに使用されるコーティング材料。
7.フィルム素材：フィルムを構成する素材。
8.スパッタリング速度：一定の時間間隔で、スパッタされた材料の量を時間間隔で割ったもの。
9.堆積速度：一定の時間間隔で、基板に堆積した材料の量を時間間隔と基板の表面積で割ったもの。
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