1.電磁作動弁：電磁力で作動する弁。
2.バッフルバルブ：バルブプレートがシートの軸に沿って開閉バルブを動かします。
3.フラップバルブ：ディスクがアングル開閉バルブを反転させます。 蒸発真空コーティング機メーカー
4.ゲートバルブ：バルブプレートがシートに沿って半径方向に移動し、バルブを開閉します。
5.バタフライバルブ：バルブプレートは、バルブオリフィスの固定シャフトを中心に開閉バルブを回転させます。
6.フロントステージポンプ：真空ポンプのフロントステージ圧力を臨界フロントステージ圧力未満に維持するために使用される真空ポンプ。たとえば、ルーツポンプの前にあるロータリーベーンまたはスライドバルブポンプがフロントポンプです。
7.ラフポンプ：大気圧でポンプを開始し、システム圧力を別の真空ポンプにポンプして作動を開始する真空ポンプ。たとえば、真空コーティング機のスライドバルブポンプは原油ポンプです。
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