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複雑な形状または複雑な特徴で部品をコーティングするという課題に対処するために、 PVDコーティングマシン 通常、高度な回転および多軸の動きシステムを統合します。これらのシステムは、基板が連続的に再配置されることを保証し、他の方法ではコーティングが困難なものを含むすべての表面に均一な堆積を可能にします。たとえば、堆積プロセス中に、部品が1つ以上の軸を中心に回転し、部品の各面が一貫したコーティング層を受け取るようにします。この動きは、直接的な視線堆積がそうでなければ不均一なコーティングをもたらす可能性のある円筒形や非フラット基質などの複雑な幾何学に特に役立ちます。
精密ターゲットおよび基板の位置決めシステムは、複雑な形状の部品の堆積プロセスを最適化する上で重要な役割を果たします。 PVDコーティング機は、標的材料に対する基質の角度と位置を調整し、堆積角を最適化できます。この調整は、コーティング粒子が基板のあらゆる表面に到達することを保証するのに役立ちます。基質と気化した材料の間のアライメントを細かく調整することにより、マシンはコーティングが制御された方法で適用され、特に細かい特徴を持つ詳細な部分で、膜の厚さのコーティングまたは不均一なフィルムの厚さのリスクを最小限に抑えることが保証されます。
PVDコーティングマシンの真空チャンバーは、多くの場合、複雑な機能を備えたものを含む幅広い部品形状に対応するためにカスタムエンジニアリングされています。これらのチャンバーは、部品を安全に保持するための特殊な固定具システムで設計されており、コーティングプロセス中に安定したままであることを保証します。真空環境により、汚染物質が表面から除去され、コーティングの接着が改善され、欠陥のリスクが最小限に抑えられます。さらに、真空チャンバーの設計により、複雑な地理化のある部分に合わせて調整された硬度、接着、腐食抵抗など、コーティングの特性を修正するために制御できる、アルゴンや窒素などのさまざまなプロセスガスの導入が可能になります。
高度なPVDシステムでは、コーティング材料はしばしば血漿にイオン化されるか、蒸気梁を介して基質に向かって誘導されます。機械は、複数のプラズマ源または直接イオン粒子を基板の特定の領域に向けて使用して、均一なカバレッジを確保することができます。複雑な特徴または深い特徴を持つ部品の場合、マシンはプラズマまたは蒸気ビームの方向性と強度を調整できます。この機能は、凹型チャンネル、鋭利なエッジ、さまざまな表面輪郭のある部品などの挑戦的な幾何学に一貫した堆積を確保するために不可欠です。イオン化された粒子は基質に向かって加速され、従来の方法で到達するのが困難な表面でも優れたコーティング品質を提供します。
マスキングとシャドウは、特に選択的なコーティングを必要とする複雑な部分で、コーティングが堆積する場所を制御するために使用される効果的な技術です。マスキングでは、基質の特定の領域を堆積に抵抗する材料で覆うことが含まれますが、シャドーイングは特定の領域での堆積を防ぐために部品の物理的なジオメトリを利用します。たとえば、穴、くぼみ、鋭いエッジなどの複雑な特徴を備えた部品をコーティングする場合、特定の表面のみがコーティングを受けることを保証するために、シャドウイング技術を使用できます。これは、基板のさまざまな部分が異なるコーティング特性を必要とする場合、または電気接点やスレッドなどの機能的な理由で一部の領域を維持する必要がある場合に特に役立ちます。
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