光学コーティング機の電子銃のメンテナンスと設置方法は？

ザ 光学コーティング機 主に真空コーティング機室、真空排気装置、電気キャビネット（制御電気キャビネット、電子銃電気キャビネット）で構成され、マイクロエレクトロニクス、光学皮膜形成、土木装飾、表面工学などの分野で使用されています。光学コーティング装置の動作原理は、電子ビームを使用して金属または非金属材料を高真空下で適切な温度に加熱し、次に蒸発して蒸気分子にすることです。平均自由行程は、蒸発源から蒸発する基板までの距離よりも大きくなります。蒸発した蒸気分子は全方向に誘導され、基板の表面に堆積して薄膜を形成します。電子銃の設置と保守の方法についてお話ししましょう。
電子銃電源制御システムは、フィラメント電源、高電圧電源、走査電源、るつぼ駆動電源、蒸発電源などで構成されています。
電子銃は、電気キャビネット内の高電圧を制御します。作業前に、キャビネットドアの各インターロック装置の通常の操作が必要です。専門家以外の人は、電気キャビネットのドアを開けることはできません。作業中は、電子銃で電気キャビネットのドアを開けないでください。光学コーティング機全体の電気キャビネットは、十分に接地され、機械の接地に接続されている必要があります。
電子銃の蒸気源は真空チャンバーの底板に設置されており、底板との接地効果が良好である必要があります。蒸気源の設置はステンレス鋼のネジで固定する必要があり、周囲200mm以内に磁性体があってはなりません。そうしないと、電子銃の光点に影響を与え、電子性能が低下します。電子銃のバッフルは、電子ビームの放出に影響を与えないように、蒸発源るつぼの中央から可能な限り30mm上に設置する必要があります。
電子銃の蒸気源は精密に機械加工された本体であり、作業時には十分な冷却水が必要です。過度の温度は、電子ビームの形成と各シールリングの性能に影響を与えます。
（1）電子ガンヘッド
ガンヘッドの取り付けは、ガンの通常の動作に直接影響します。故障の90％は銃の先端に関連しています。
チップを一定期間使用すると、部品の汚染により、電子ビームの形成と出力に影響を与えるため、分解して洗浄する必要があります。
（2）るつぼのメンテナンス
るつぼを分解する前に、水回路を閉じ、圧縮空気を使用して電子銃冷却管内の水を吹き飛ばしてください。
（3）磁性導電板と走査リングのメンテナンス
光学コーティング機のガイドプレートと永久磁石は、頻繁に分解してメンテナンスする必要がありません。分解する場合は、永久磁石の極性方向とガイドプレートの方向に注意してください。コイルの設置スペースが密集しているため、鋭利なものでこじ開けないでください。破損の原因になります。

2007年にHuahongVacuumTechnologyの旧名として設立され、専門家です 中国光学フィルムコーティング機サプライヤー と 光学フィルムコーティング機サプライヤー 、スパッタリングシステム、光学コーティングユニット、バッチメタライザー、物理蒸着（PVD）システム、耐摩耗性および耐摩耗性の真空コーティング堆積装置、ガラス、PE、PC基板コーター、フレキシブルコーティング用のロールツーロールマシンを含みますが、これらに限定されません。基板。機械は、以下に説明する幅広い用途に使用されます（ただし、これらに限定されません）自動車、装飾、ハードコーティング、工具および金属切削コーティング、および大学を含む産業および研究所向けの薄膜コーティングアプリケーション。DankoVacuumTechnology Company Ltd.高品質、高性能、卸売光学フィルムコーティング機の価格を提供することにより、市場の境界を拡大します。当社は、国内および国際市場でのアフターサービスに重点を置いており、お客様のニーズを満たすための正確な部品処理計画と専門的なソリューションを提供しています。