第一に、磁場の均一性と方向は、比較的均一な空間磁場を形成するように確保されるべきです。
第二に、空気圧の均一性を可能な限り確保する必要があります。真空チャンバーを設計するとき、真空ポンプの設置位置、方法 蒸発真空コーティング機工場 プロセスガスの取り入れ口とチャンバー内のプロセスパイプのレイアウトを考慮する必要があります。
第三に、磁場と空気圧は完全に理想的ではないため、磁場は空気圧の不均一性によって補償され、最終的なフィルムを均一にすることができます。
第4に、ターゲットのベース距離も均一性に影響を与える重要な要素です。
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