スパッタまたは気化するコーティング材料は、「ターゲット」または「ソース材料」と呼ばれます。 PVDで一般的に使用される何百もの材料があります 蒸発真空コーティング機サプライヤー 。最終製品が何であるかに応じて、材料は金属、合金、セラミック、組成物、そして周期表のほぼすべてのものに及びます。
一部のプロセスでは、特殊な用途向けに、炭化物、窒化物、ケイ化物、ホウ化物などの独自のコーティングが必要です。それぞれに、特定のパフォーマンス要件に合わせて調整された特別な品質があります。たとえば、グラファイトとチタンは、摩擦と温度が重要な成功要因である高性能の航空宇宙および自動車部品でよく使用されます。
多くの場合、数原子または分子の厚さの均一な薄膜コーティングの厚さを実現するために、コーティングされる部品は、多くの場合、一定の速度で複数の軸を中心に回転するか、堆積材料のプラズマストリームを通過するコンベヤーベルト上に配置されます。単層または多層のコーティングは、同じ堆積サイクル中に適用することができます。
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