Summary: の通常の作業条件 真空コーティング装置 1.周囲温度：10〜30℃ 2.相対湿度：70％以下 3.冷却水入口温度：25℃以下 4.冷却水の水質...
1.周囲温度：10〜30℃
2.相対湿度：70％以下
3.冷却水入口温度：25℃以下
4.冷却水の水質：都市の水道水または同等の水質の水
5.電源電圧：380V、三相50Hzまたは220V、単相50Hz（使用する電化製品のニーズに応じて）、電圧変動範囲は342〜399Vまたは198V〜231V、周波数変動範囲は49〜51Hz;
6.装置に必要な圧縮空気、液体窒素、温水および冷水などの圧力、温度、および消費量は、製品の取扱説明書に記載する必要があります。
7.機器の周囲環境は清潔で、空気は清潔であり、電気器具やその他の金属部品の表面を腐食させたり、金属間の伝導を引き起こしたりする可能性のあるほこりやガスがあってはなりません。
さらに、真空コーティング装置が設置されている実験室または作業場は、清潔で衛生的に保つ必要があります。床はテラゾまたは木で塗装された床で、ほこりはありません。機械式ポンプから排出されるガスが実験室環境を汚染するのを防ぐために、ポンプの排気口の上に排気管（金属またはゴム管）を設置する方法を使用して、ガスを屋外に排出することができます。
真空コーティング装置のメンテナンスとメンテナンス方法
真空コーティング装置が200以上のコーティング手順を完了した後、スタジオは1回クリーニングする必要があります。
方法：真空チャンバーの内壁を苛性ソーダ（NaOH）飽和溶液で繰り返しこすります（火傷を避けるために、人間の皮膚は苛性ソーダ溶液に直接接触できないことに注意してください）目的は、めっき膜アルミニウム（AL）をＮａＯＨ、および反応後のフィルム層が脱落し、水素ガスを放出する。次に、真空チャンバーをきれいな水で洗浄し、ガソリンに浸した布で微細抽出バルブ内の汚れを洗浄します。
荒削りポンプ（スライドバルブポンプ、ロータリーベーンポンプ）が1ヶ月間（雨季の半分）継続して作動する場合は、新しいオイルと交換する必要があります。
方法：オイルボルトを緩め、古いオイルを排出してから、ポンプを数秒間始動して、ポンプ内の古いオイルを完全に排出します。オイルリターンボルトを緩め、定格量まで新しいオイルを追加します（オイルサイトグラスで観察）。半年以上連続使用する場合は、オイル交換の際にオイルカバーを開け、箱の中の汚れを布で拭き取ってください。
再起動する前に、リーク検出に注意してください。
拡散ポンプを6か月以上継続して使用した場合、ポンプ速度が明らかに遅くなるか、操作が不適切になります。空気を大気に満たし、接続している水道管を取り外し、電気ストーブを取り外し、第1レベルのノズルのネジを外し、最初にポンプキャビティとポンプブラダーをガソリンで清掃します。もう一度、水を混ぜた粉末洗剤で洗ってから、きれいな水でよく洗ってください。水が蒸発して乾燥したら、ポンプブラダーを取り付け、新しい拡散ポンプオイルを追加して本体に戻し、水道管を接続して電気コンロを取り付けます。再起動します。再起動する前に、リーク検出に注意してください。
方法：メンテナンスポンプを始動し、ドアを閉じ、数分後、拡散ポンプの真空度が6X10 Paに達するかどうかを観察します。そうでない場合は、リーク検出を実行します。ジョイントにシールリングが取り付けられていないか、シールリングがつぶれていないか確認してください。加熱は、空気漏れの隠れた危険性を排除した後にのみ行うことができます。そうしないと、拡散ポンプオイルがリングを燃焼させ、真空コーティング装置が動作状態に入ることができなくなります。
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