真空コーティング技術におけるいくつかの一般的な真空ポンプ
拡散ポンプ
拡散ポンプは、高真空を得るために最も広く使用されている主要なツールの1つであり、通常はオイル拡散ポンプと呼ばれます。拡散ポンプは二次ポンプの一種であり、フロントポンプとして機械式ポンプが必要です。 プラズマコーティング機メーカー
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