真空コーティング機の原理は何ですか？

1.真空本体-真空チャンバーのサイズは、加工品の要件により異なります。現在、最も広く使用されている直径は、1、3M、0、9M、1、5M、1、8Mなどです。キャビティは「ステンレス鋼」で構成されていますtarget = _blank>ステンレス鋼の材料、要件は錆びていない、固体など、真空チャンバーの各部分には、各ポンプを接続するための接続バルブがあります。

2.補助空気抽出システム：排気システムは、コーティング機の真空システムの重要な部分であり、主に機械式ポンプ、ブースターポンプ（主にルーツポンプを導入）、および油拡散ポンプで構成されています。この排気システムは、「拡散ポンプメカニカルポンプルートポンプ極低温コールドトラップポリコールド」で構成されています。排気プロセスは次のとおりです。機械式ポンプは、最初に真空チャンバーを2、0 * 10-2PA未満の低真空状態にポンプします。これは、拡散ポンプのその後の真空引きの前提条件を提供し、次に拡散ポンプがポンプするときに真空室、機械式ポンプが連携します。油拡散ポンプは直列に接続され、このようにポンプ動作を完了します。
メカニカルポンプ：バッキングポンプとも呼ばれます。メカニカルポンプは、最も広く使用されている低真空ポンプです。オイルを使用してシール効果を維持し、機械的方法に依存してポンプ内の吸引キャビティの容積を継続的に変更し、コンテナをポンプで送ります。内部のガスの体積は、真空を得るために連続的に膨張します。

機械式ポンプの分類：機械式ポンプには多くの種類があります。一般的に使用されるのは、スライドバルブタイプ（主に大型機器で使用される）、ピストンレシプロタイプ、固定ベーンタイプ、ロータリーベーンタイプ（現在最も広く使用されている、この記事では主に紹介）の4つのタイプです。機械式ポンプは大気から作動し始めます。その主なパラメータは、極限真空とポンプ速度です。これは、メカニカルポンプの設計と選択の重要な基盤です。単段ポンプは、コンテナを大気から最終真空度の1、0 * 10-1PAにポンプで送ることができ、2ステージ機械式ポンプは、コンテナを大気から6、7 * 10-2Pa、さらにはポンプすることができます。より高い。ポンプ速度とは、ロータリーベーンポンプが定格速度で運転しているときに単位時間あたりに排出できるガスの量を指します。次の式で計算できます：Sth = 2nVs = 2nfsL fsは吸引終了時のキャビティの断面積を表し、Lはボイドキャビティの長さを表し、係数はローターに2つの排気があることを示します1回転あたりのプロセス数。Vsは、ローターが水平位置にあるときに吸引が終了し、この時点でキャビティ内の体積が最大で、速度がnであることを示します。メカニカルポンプの排気効果は、モーターの速度とベルトの締まり具合にも関係しています。モーターのベルトが比較的緩く、モーターの速度が非常に遅い場合、メカニカルポンプの排気効果も悪化するため、頻繁なメンテナンスが必要になります。メカニカルポンプオイルのシール効果も頻繁にチェックする必要があります。オイルが少なすぎると、シール効果が得られません。ポンプから空気が漏れ、オイルが多すぎると吸込口が塞がれ、吸排気ができなくなります。オイルレベルはラインより0または5cm下です。機械式ポンプは、乾燥した空気を排出するためによく使用されますが、酸素含有量の高いガス、爆発性および腐食性のガスを排出することはできません。機械式ポンプは、一般的に永久ガスを排出するために使用されますが、湿気には適していません。効果があるので、水分を取り除くことができません。ロータリーベーンポンプの主要部品は、ステーター、ローター、榴散弾などです。ローターはステーターの内側にありますが、2つの刻まれた円のように、ステーターとは異なる軸を持っています。ロータースロットには2つの榴散弾があり、2つの榴散弾の間にバネが取り付けられています。榴散弾が固定子の内壁にしっかりと取り付けられていることを確認します。