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PVDコーティング機におけるアルゴンの役割は何ですか?

Update:20-05-2021
Summary: AR 2は不活性ガスです(ヘリウム、ネオン、キセノンと同様に...すべて不活性ガスに属します)。 PVD(物理蒸着)では、作動ガスとして使用され、その主な機能は、PVD(洗浄)でのグロー、膜を堆...

AR 2は不活性ガスです(ヘリウム、ネオン、キセノンと同様に...すべて不活性ガスに属します)。 PVD(物理蒸着)では、作動ガスとして使用され、その主な機能は、PVD(洗浄)でのグロー、膜を堆積する際の作動ガスなどを使用することです。これは、不活性ファミリーのガスであるため、その活性他のガス(アセチレン、メタン、窒素、酸素など)ほど強力ではありません。生産において、作動ガスとしてのアルゴンの使用は、主に経済的考慮によるものであり、コストは他の不活性ガスに関連しています。最も安価で、次にリーク検出に使用されるヘリウム(PVDまたは真空)が続きます。

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