真空コーティング機の動作原理は何ですか？

コーティングの分野では、コーティング後のフィルムサンプルの厚さがフィルムの性能に影響を与える重要な要素です。したがって、フィルムサンプルの性能を評価するときは、さまざまな厚さでフィルムサンプルの性能をテストする必要があります。真空コーティングの場合、これには多くの場合、複数のサンプル前処理が必要です。ただし、複数回のサンプルの準備には2つの問題があります。1つは、異なる時間で成長したサンプルでは機器の状態が異なるため、フィルムサンプルのパフォーマンスに影響を与える要因は厚さだけではない可能性があります。第二に、真空コーティング実験では、サンプルを再度真空にする必要があります。取得には非常に時間がかかります。生産とテストのコストを増やします。

したがって、多機能マグネトロンスパッタリングコーティングシステムが提供される。このシステムは、真空コーティングシステムとグローブボックスシステムによって統合されています。高真空蒸発チャンバーで薄膜蒸発を完了でき、グローブボックス内に高純度の不活性ガスがあります。サンプルの保管と準備、および蒸発後のサンプルの検出は、大気中で行われます。蒸発コーティングとグローブボックスの組み合わせにより、蒸発、カプセル化、テスト、その他のプロセスの完全に密閉された生産が実現されるため、膜の成長とデバイスの準備プロセス全体が完全に制御可能な環境雰囲気システムに高度に統合され、有機的な大面積が排除されます回路準備プロセス大気環境における不安定な要因の影響により、高性能で大面積の有機オプトエレクトロニクスデバイスおよび回路の準備が保証されます。

多機能マグネトロンスパッタリングコーティングシステムの主な目的：さまざまな金属膜、半導体膜、誘電体膜、マグネトロン膜、光学膜、超伝導膜、センシング膜、およびさまざまな特殊機能膜の調製に使用されます。