メンブレンマシンは、現在、真空状態を作るために最も広く使用されている装置です。関連するコンポーネントとコンポーネント：メカニカルポンプ、ブースターポンプ、オイル拡散ポンプ、復水ポンプ、真空測定システム。
真空本体-真空チャンバーは加工品によって要件が異なり、真空チャンバーのサイズも異なります。現在、最も広く使用されているのは1.3M、0.9M、1.5M、1.8Mなどです。チャンバーはステンレス鋼でできており、錆びた、固体などの要件があり、真空の各部分に接続バルブがあります各吸引ポンプを接続するために使用されるチャンバー。 真空コーティング機
主に4つの部分、真空ユニット、真空ボックス、蒸発システム、制御システムに分かれています。
ユニットは、低真空、高真空、ルーツポンプユニット、拡散ポンプユニット、分子ポンプユニット、クライオポンプユニットなどに分けることができます。
蒸着は、電子ビーム蒸着、抵抗加熱蒸着、マグネトロンスパッタリング蒸着、マルチアーク蒸着に分けられます
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