真空漏れ検出のスキルについて話していますか？- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

のスキルについて話す真空リーク検出？

リークをすぐに見つけるには、かなりの経験とスキルが必要です。真空漏れ検出のための特定の動作ルールはありませんが、一般に、以下の手順と方法に従って動作する方が良いです。

1）製造中の真空容器またはデバイスの場合、バブルリーク検出方法を使用することをお勧めします。

バブルリーク検出は、テストピースをリーク誘発ガスの一定の圧力で満たし、液体に入れることです。ガスは漏れ穴から周囲の液体に入り、泡を形成します。バブルが形成される場所は、漏れ穴の場所です。レート、バブルのサイズ、および使用されるガスD液体の物理的特性は、漏れ速度の大まかな推定値を与えることができます。

肉眼で観察されると、一般に3つの状況があります。表示される泡は小さく、形成速度は均一であり、泡は長い間持続し、漏れ速度は約10-5〜10-2PA・M3・S-1の範囲です。 2番目のケースは、大小の泡のランダムな混合の現象であり、漏れ速度は約10-2から10-1Pa・M3・S-1の範囲です。 3番目のケースは、泡が大きく、形成率が高く、期間が短いことです。リークレート範囲は約10-1〜1Pa・M3・S-1です。

2）使用中の真空容器またはデバイスに損傷はないようですが、圧力が急激に上昇することがわかった場合は、照明の真空ゲージとアルコールまたはアセトンを漏れている液体として使用して、容易に損傷していると見なされる場所を確認します。

（3）上記の努力にもかかわらずリークが見つからない場合、フード（統合方法）または圧力上昇方法を使用して、空気漏れがあるかどうかを判断する必要があります。

いわゆるカバー方法は、デバイス全体にビニールのビニール袋（カバー）で覆い、ヘリウムガスを袋に入れ、つまり、ヘリウムに真空容器全体に漏れ検出のために浸す方法です。

いわゆる圧力上昇法は、メインバルブを閉じ、完全にポンピングした後に大まかなポンプバルブと空気漏れバルブを閉じ、B-Aイオン化真空ゲージの圧力上昇の変化を使用して、空気漏れがあるかどうかを決定することにより、空気漏れがあるかどうかを判断する方法です。この圧力上昇変動は、通常、図1の実線で示されています。

これは、空気の漏れによって引き起こされる圧力上昇と、材料の出口によって引き起こされる圧力上昇の合計であり、最終的には時間に比例した線形上昇です。曲線が上記の状態を示すと、デバイスが漏れていることを示します。

漏れがなく、材料のみがガスになっているため、曲線は飽和する必要があります。材料が発生していない場合、空気漏れのみがある場合、最初の時間に比例した直線になります。

操作が熟練したら、残留ガスを分析するだけでなく、漏れがあるかどうかを大まかに判断することもできます（02ピークとARピークに注意を払ってください。最初はガス漏れがある場合は、ARピークを見ることができなくても、02ピークを見ることができません。フード法での検査は時間を節約できるため、空気漏れがあるかどうかを判断するために、フード法を使用するのが最善です。

デバイスに漏れがあり、漏れ穴がデバイスの圧力の制限要因ではない場合、漏れを検出せずに焼いた後、真空度をさらに改善できます。

4）リーク検出。漏れている場所を見つけるために、それは漏れている可能性のある場所を1つずつチェックすることにすぎません。その予防措置は次のようにリストされています。

Heliumを使用すると、大気よりも軽いガスが漏れているガスが漏れているガスを使用すると、デバイスの上部から始まります（ヘリウムの上昇と上部の漏れから漏れているため、吹く場所での漏れと間違えられます）。ブタン、プロパン、アルコール（液体）などの重いガスがユニットの底から始まります。

leak漏れが見つかったら、ビニールテープ（漏れているガスを通過できない物質）で貼り付け、漏れを一時的にブロックします。

compleasすべての検査が完了した場合は、フードメソッドを確認して、漏れが見つかった場合に漏れがあるかどうかを確認するには、空気漏れがないことを確認できます）。空気漏れがないと判断された場合は、修理に進むことができます。

1）製造中の真空容器またはデバイスの場合、バブルリーク検出方法を使用することをお勧めします。

バブルリーク検出は、テストピースをリーク誘発ガスの一定の圧力で満たし、液体に入れることです。ガスは漏れ穴から周囲の液体に入り、泡を形成します。バブルが形成される場所は、漏れ穴の場所です。速度、泡のサイズ、および使用されるガスD液体の物理的特性は、漏れ速度の大まかな推定値を与えることができます。

肉眼で観察されると、一般に3つの状況があります。表示される泡は小さく、形成率は均一であり、泡は長い間持続し、漏れ速度は約10-5から10-2PA・M3・S-1の範囲です。2番目のケースは、ランダムな混合の現象であり、泡のような塊と吹き出されたレーキレートの現象です。 10-1PA・M3・S-1; 3番目のケースは、泡が大きく、形成率が高く、期間が短いことです。リークレート範囲は約10-1〜1Pa・M3・S-1です。