真空コーティングシステムの主なコンポーネントは何ですか？- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

真空コーティングシステムの主なコンポーネントは何ですか？

1。真空チャンバー

コーティング装置主に、連続コーティング生産ラインとシングルチャンバーコーティングマシン、ステンレス鋼の材料製造、アルゴンアーク溶接、表面化学研磨処理、およびフランジ界面のさまざまな仕様が真空チャンバー成分に溶接されています。

2、真空取得部品

真空技術では、真空取得部分は重要な部分です。真空の獲得は、単一の真空機器と方法では達成できません。機械式ポンプ、根ポンプ、分子ポンプシステムなど、いくつかのポンプを組み合わせて使用する必要があります。

3、真空測定部分

真空システムの真空測定部分は、真空チャンバーの圧力を測定することです。真空ポンプのように、真空ゲージは真空範囲全体を測定できないため、さまざまな原則と要件に応じて多くの種類の真空ゲージを作成しています。熱電対メーター、イオン化メーター、ピラニメーターなど

4。電源部品

ターゲット電源には、主にDC電源、中間周波数電源、パルス電源、無線周波数電源（RF）が含まれます。一般的な電源メーカーには、AE、ADL、Hottingerなどが含まれます。

5。ガス入力システムをプロセスします

アルゴン（AR）、クリプトン（KR）、窒素（N2）、アセチレン（C2H2）、メタン（CH4）、水素（H2）、酸素（O2）などのプロセスガスは、一般にガスシリンダーによって供給されます。ガス圧力低減バルブ、ガス停止バルブ、パイプライン、ガスフローメーター、ソレノイドバルブ、圧電バルブ、そして真空チャンバーに入ります。このガス入力システムの利点は、パイプラインがシンプルで明確であり、ガスシリンダーを簡単に修理または交換できることです。コーティング機は互いに影響を与えません。複数のコーティング機がガスシリンダーのセットを共有する場合もあります。この状況は、いくつかの大規模なコーティングワークショップで見られるかもしれません。その利点は、ガスシリンダーの占有率、統一計画、統一レイアウトを減らすことです。欠点は、ジョイントの数が増加するため、空気漏れの可能性が増加することです。さらに、コーティング機は互いに干渉し、1つのコーティング機のパイプラインが空気を漏らす可能性があり、他のコーティング機の製品品質に影響を与える可能性があります。さらに、ガスシリンダーを交換する場合、すべてのマシンが非GAS状態にあることを確認する必要があります。

6.機械透過部分

コーティングには、末梢の厚さが均一でなければならないことが必要です。したがって、要件を満たすには、コーティングプロセスに3つの回転が必要です。つまり、大きなワークピーステーブルは回転に必要ですが（i）、小さなワークキャリアも回転し（ii）、ワークピース自体が同時に回転することができます（iii）。機械設計では、通常、大きなワークピースターンテーブルの底の中央に大きな駆動ギアがあり、いくつかの小さな星の車輪がそれに噛み合います。製品を回転させる場合、ワークピースは通常、シフトフォークによって回転します。

7、加熱および温度測定部分

通常、コーティング装置には異なる位置のヒーターがあり、温度を測定および制御するために熱電対が使用されます。ただし、熱電対クランプ位置はワークピースの位置とは異なるため、温度の読み取り値はワークピースの真の温度ではありません。ワークピースの真の温度を測定するには、多くの方法があり、ワークピースに高温テスト紙または熱電対メーターを取り付けることができます。

8。イオン蒸発とスパッタリング源

マルチアークメッキの蒸発源は、一般に丸いケーキの形状で、一般に丸いケーキターゲットとして知られており、長方形のマルチアークターゲットもあります。マグネットがターゲットベースに取り付けられています。磁石を前後に移動することにより、磁場の強度が変更され、アークスポットの移動速度と軌跡を調整できます。ターゲットとターゲットベースの温度を下げるには、ターゲットベースに冷却水を継続的に供給する必要があります。ターゲットベースとターゲットベースの間の高い電気的および熱伝導率を確保するために、ターゲットベースとターゲットベースの間にスズガスケットを追加することもできます。マグネトロンスパッタリングコーティングは、一般に長方形または円筒形のスパッタリングカソードを使用します。

9、水冷システム

通常、コールドウォータータワー、アイスウォーターマシン、ウォーターポンプなどで構成されています。

10、産業制御システム

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