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真空コーティングマシン 主に、真空抵抗加熱蒸発、電子ガン加熱蒸発、マグネトロンスパッタリング、MBE分子ビームエピタキシー、PLDレーザースパッタリング堆積、多くの種類の梁の跳躍を含む多くのタイプを含む、より高い真空の下で実行する必要があるコーティングの種類を指します。主なアイデアは、2種類の蒸発とスパッタリングに分かれています。
電気制御キャビネット操作
1.ウォーターポンプと空気源をオンにします。
2。主電源をオンにします。
3.メンテナンスポンプの電源をオンにし、真空ゲージ位置V1である真空ゲージをオンにし、値が10未満になるのを待ってから、次のステップに入ります。約5分かかります。
4.機械ポンプをオンにし、プリポンプを行い、ターボ分子ポンプの電力をオンにして開始します。真空ゲージスイッチはV2位置に変更されます。 2未満に汲み上げるには約20分かかります。
5.ターボモルクルポンプの読み取りが250に達することを観察した後、プリポンプをオフにし、バッキングポンプと高い真空バルブをオンにして掃除機をかけ続けます。真空が特定のレベルに達したら、右側の高い真空ゲージをオンにして、真空を観察します。真空が2×10-3に達した後にのみ、電子ガン電源をオンにすることができます。
1.ウォーターポンプと空気源をオンにします。
2。主電源をオンにします。
3.メンテナンスポンプの電源をオンにし、真空ゲージ位置V1である真空ゲージをオンにし、値が10未満になるのを待ってから、次のステップに入ります。約5分かかります。
4.機械ポンプをオンにし、プリポンプを行い、ターボ分子ポンプの電力をオンにして開始します。真空ゲージスイッチはV2位置に変更されます。 2未満に汲み上げるには約20分かかります。
5.ターボモルクルポンプの読み取りが250に達することを観察した後、プリポンプをオフにし、バッキングポンプと高い真空バルブをオンにして掃除機をかけ続けます。真空が特定のレベルに達したら、右側の高い真空ゲージをオンにして、真空を観察します。真空が2×10-3に達した後にのみ、電子ガン電源をオンにすることができます。
DEF-6B操作
1。総電源。
2。電子ガン制御と電子ガン制御をオンにします。同時に電源を使用します。電子ガン制御ⅰ電源、遅延スイッチ、遅延、電源、保護ライトが点灯します。 3分後、遅延と保護ライトがオフになります。裏口が閉じられていない場合、または水流リレーに障害がある場合、保護ライトは常にオンになります。
3.高電圧がオンになると、高電圧が10kVを超え、ビーム電流を約200mAに調整でき、カーテングリッドは20V/100MA、フィラメント電流は1.2a、偏向電流が1〜1.7の間でスイングします。
シャットダウンシーケンス
1.高真空メーターと分子ポンプをオフにします。
2.分子ポンプディスプレイが50に達したら、高バルブ、フロントステージ、および機械ポンプを順番にオフにします。この期間には約40分かかります。
3. 50未満の場合は、メンテナンスポンプをもう一度オフにします。
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