陰極アークイオンプレーティングの動作原理は何ですか？

まず第一に、正の電位を持つアーク打撃針（陽極）は、負の電位を持つターゲット（陰極）に近いです。陽極と陰極の間の距離が十分に小さい場合、2つの電極間のガスが分解され、電気溶接のアークストライキングと同様のアーク電流が形成されます。このとき、N2の一部がイオン化して窒素陽イオンと電子を形成します。

電界の力に引き付けられて、窒素陽イオンはターゲットの近くの陰極に飛んでいき、電子はアーク点火針に飛んでいきます。ただし、イオンの質量は電子の質量よりはるかに大きくなります。したがって、同じ電界力の下では、電子の移動距離は陽イオンの移動距離よりも大きくなります。したがって、電子がアノードに到達すると、イオンはカソードターゲットに到達せず、アーク点火ニードルに飛んでいきます。正イオン蓄積層は、ターゲット表面の近くに形成されます。

陽イオンと陰極のターゲット表面の間の距離は非常に小さく、ミクロンレベルまでです。 e = u / Dによると、この時点で空間内の電界が非常に高く、ターゲットから電子を「引き抜く」ことがわかります。 「引っ張られた」電子は、陰極ターゲットから陽イオン蓄積層に飛んで、電流を形成します。スタッキング層はターゲット表面に接続され、アークがターゲット表面の近くに生成されます。

同時に、陽イオンは陰極ターゲット表面に引き付けられ、陽イオンがターゲット表面に衝突してスパッタリングを生成します。蒸発またはスパッタされた膜粒子は陽イオン蓄積層を通過する必要があり、カソードのターゲット表面から飛び出す過程で、膜粒子はターゲット表面のアークの影響を受けるため、ほとんどの粒子はワークピースに到達するのはイオン状態です。

通常、負のバイアス電圧がワークピースに印加されるため、正イオンは電界力の作用下でワークピースに飛んで、ワークピースに衝撃を与えます。 DLCコーティング機メーカー 。この衝撃は、フィルムの接着性を改善し、摩擦を密にします。これは、フィルムの品質を改善するのに非常に有益です。

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