カソードアークイオンメッキの実用的な原則は何ですか？- Ningbo Danko Vacuum Technology Co., Ltd.

カソードアークイオンメッキの実用的な原則は何ですか？

まず第一に、正の電位を持つアークストリックニードル（アノード）は、負の電位を持つターゲット（カソード）に近いです。アノードとカソードの間の距離が十分に小さい場合、2つの電極間のガスが分解され、アーク電流が形成されます。これは、電気溶接のアークストライキに似ています。この時点で、N2の一部をイオン化して窒素カチオンと電子を形成します。

電界力に惹かれて、窒素陽イオンは標的近くのカソードに飛んで、電子はアークイグニッション針に飛んでします。ただし、イオンの質量は電子の質量よりもはるかに大きいです。したがって、同じ電界力の下では、電子の移動距離は陽イオンの動きよりも大きくなります。したがって、電子がアノードに到達すると、イオンはカソードターゲットに到達しませんが、アークイグニッション針に飛んでします。

陽イオンとカソードターゲット表面の間の距離は非常に小さく、最大レベルです。 E = U / Dによると、この時点で空間内の電界が高く、ターゲットから電子を「引く」ことがわかります。「引っ張られた」電子は、カソードターゲットから正のイオン蓄積層に飛んで、電流を形成します。スタッキング層はターゲット表面に接続されており、ターゲット表面の近くでアークが生成されます。

同時に、正のイオンはカソードターゲット表面に引き付けられ、陽性イオンが標的表面を砲撃し、スパッタリングを生成します。フィルム粒子が蒸発またはスパッタされた角度のいずれかが正のイオン蓄積層を通過する必要があるため、カソードターゲット表面から飛び出す過程で、フィルム粒子はターゲット表面の弧の影響を受けます。

負のバイアス電圧は通常ワークに適用されるため、陽性イオンは電界力の作用の下でワークピースに飛び、ワークピースを砲撃します DLCコーティングマシンメーカー。この砲撃は、映画の接着を改善し、摩擦を濃くします。これは、映画の品質を改善するのに非常に有益です。

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