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コーティングの分野では、コーティング後のフィルムサンプルの厚さは、フィルムのパフォーマンスに影響を与える重要な要因です。したがって、フィルムサンプルのパフォーマンスを評価するときは、異なる厚さでフィルムサンプルのパフォーマンスをテストする必要があります。真空コーティングの場合、これには多くの場合、複数のサンプル製剤が必要です。ただし、サンプルを複数回準備することには2つの問題があります。まず、機器の状態は異なる時期に成長したサンプルでは異なります。そのため、フィルムサンプルの性能に影響する因子は厚さだけではありません。第二に、サンプルは真空コーティング実験で再び掃除機をかける必要があります。取得は非常に時間がかかります。生産とテストのコストを増やします。
したがって、多機能マグネトロンスパッタリングコーティングシステムが提供されます。このシステムは、真空コーティングシステムとグローブボックスシステムによって統合されています。高真空蒸発室で薄膜蒸発を完了することができ、グローブボックスに高い純度不活性ガスがあります。蒸発後のサンプルの貯蔵と準備、およびサンプルの検出は、大気中に実行されます。蒸発コーティングとグローブボックスの組み合わせにより、蒸発、カプセル化、テスト、その他のプロセスの完全に密閉された生産が実現し、フィルムの成長とデバイスの準備プロセスが完全に制御可能な環境雰囲気に高度に統合され、有機的な大部分回路の準備プロセスが排除され、大量生物の環境における不安定な因子の影響が保証されます。
多機能マグネトロンスパッタリングコーティングシステムの主な目的：さまざまなメタルフィルム、半導体フィルム、誘電体フィルム、マグネトロンフィルム、光学フィルム、超伝導フィルム、センシングフィルム、さまざまな特別な機能フィルムの準備に使用されます。
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