ヘリウム質量分析によるリーク検出
この技術は、真空漏れ検知の分野で欠かせない技術です。リーク検出効率が高く、操作が簡単で、機器の応答が敏感で、精度が高いため、リーク検出に広く使用されています。 中国PVDコーティングシステムサプライヤー 他のガスに簡単に干渉されます。ヘリウム質量分析計リークディテクタは、ヘリウムをリークインジケータガスとして使用する、質量分析原理に基づく一種の気密性検出装置です。イオン源、分析装置、コレクター、冷陰極イオン化ゲージ、質量分析チャンバー、排気システム、電気部品で構成されています。質量分析チャンバー内のフィラメントから放出された電子は、室内で前後に振動し、漏れのある穴を通って室内に入る室内のガスやヘリウムと衝突して、陽イオンにイオン化します。これらのヘリウムイオンは、加速電場の左右の脳の下の磁場に入り、ローレンツ力の作用により偏向し、円弧軌道を形成し、加速電場を変化させます。圧力により、磁場と受信スロットを介して受信極に到達することにより、異なる質量のイオンを検出できます。ヘリウム注入法とヘリウム吸収法は、ヘリウム質量分析計のリーク検出で最も一般的に使用される2つの方法です。
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