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ヘリウム質量分析によるリーク検出
この技術は、真空漏れ検出の分野で不可欠な技術です。リーク検出効率が高い、簡単な動作、敏感な機器応答、高精度、およびそうではないため、漏れ検出で広く使用されています。 中国PVDコーティングシステムのサプライヤー 他のガスによって簡単に干渉されます。ヘリウム質量分析計漏れ検出器は、ヘリウムを漏れインジケーターガスとして使用する質量分析の原理に基づく一種のガス締め付け検出器です。これは、イオン源、分析器、コレクター、コールドカソードイオン化ゲージ、質量分析チャンバー、排気システム、電気部品で構成されています。質量分析チャンバー内のフィラメントから放出された電子は、部屋で前後に振動し、漏れやすい穴から部屋に入る屋内ガスとヘリウムと衝突して、イオンにイオンになります。これらのヘリウムイオンは、加速された電界の左右の脳の下に磁場に入り、ローレンツ力の作用により偏向し、円形の弧軌道を形成し、加速した電界を変化させます。圧力により、磁場を介して受信ポールに到達し、スロットを受信することにより、異なる質量のイオンを検出できます。ヘリウム注入法とヘリウム吸収法は、ヘリウム質量分析計の漏れ検出において一般的に使用される2つの方法です。
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