Summary: 1.真空チャンバー コーティング装置 主に2つの形態があります：連続コーティング生産ラインとシングルチャンバーコーティング機、ステンレス鋼材料製造、アルゴンア...
1.真空チャンバー
コーティング装置 主に2つの形態があります：連続コーティング生産ラインとシングルチャンバーコーティング機、ステンレス鋼材料製造、アルゴンアーク溶接、表面化学研磨処理、およびフランジインターフェースのさまざまな仕様が真空チャンバーコンポーネントに溶接されます。
2、真空取得部
真空技術では、真空取得部分が重要な部分です。真空の取得は、単一の真空装置および方法では達成できません。機械式ポンプ、ルーツポンプ、分子ポンプシステムなど、複数のポンプを組み合わせて使用する必要があります。
3、真空測定部
真空システムの真空測定部分は、真空チャンバー内の圧力を測定することです。真空ポンプのように、真空計は真空範囲全体を測定できないため、人々はさまざまな原理と要件に従って多くの種類の真空計を製造してきました。熱電対計、イオン化計、ピラニ計など。
4.電源部
対象となる電源には、主にDC電源、中間周波数電源、パルス電源、無線周波数電源（RF）が含まれます。一般的な電源メーカーには、AE、ADL、Hottingerなどがあります。
5.プロセスガス投入システム
アルゴン（Ar）、クリプトン（Kr）、窒素（N2）、アセチレン（C2H2）、メタン（CH4）、水素（H2）、酸素（O2）などのプロセスガスは、通常、ガスボンベから供給されます。ガス減圧弁、ガス止め弁、パイプライン、ガス流量計、電磁弁、圧電弁、そして真空チャンバーへ。このガス投入システムの利点は、パイプラインがシンプルで明確であり、ガスボンベの修理や交換が簡単なことです。コーティング機は相互に影響を与えません。複数の塗装機がガスボンベのセットを共有する場合もあります。この状況は、いくつかの大規模なコーティングワークショップで見られる可能性があります。その利点は、ガスボンベの占有率、統一された計画、統一されたレイアウトを削減することです。欠点は、ジョイントの数が増えるため、空気漏れの可能性が高くなることです。また、塗装機同士が干渉し、1台の塗装機のパイプラインから空気が漏れ、他の塗装機の製品品質に影響を与える可能性があります。また、ガスボンベを交換する際には、すべての機械が非ガス状態になっていることを確認する必要があります。
6.機械式トランスミッション部品
コーティングでは、周囲の厚さが均一である必要があります。したがって、要件を満たすには、コーティングプロセスで3回転する必要があります。つまり、大きなワークピーステーブルは回転する必要がありますが（I）、小さなワークピースキャリアも回転し（II）、ワークピース自体も同時に回転できます（III）。機械設計では、一般に、大きなワークピースのターンテーブルの下部の中央に大きな駆動ギアがあり、いくつかの小さなスターホイールがそれに噛み合っています。製品を回転させる場合、ワークピースは通常、シフトフォークによって回転します。
7、加熱および温度測定部分
コーティング装置には通常、さまざまな位置にヒーターがあり、温度の測定と制御には熱電対が使用されます。ただし、熱電対のクランプ位置がワークピースの位置と異なるため、温度の読み取り値をワークピースの実際の温度にすることはできません。ワークピースの真の温度を測定するには、多くの方法があります。ワークピースに高温試験紙または熱電対メーターを取り付けることができます。
8.イオン蒸発およびスパッタリング源
マルチアークめっきの蒸発源は、一般にラウンドケーキターゲットと呼ばれるラウンドケーキの形をしており、長方形のマルチアークターゲットもあります。ターゲットベースに磁石が取り付けられています。磁石を前後に動かすことで、磁場の強さを変えたり、アークスポットの移動速度や軌道を調整したりできます。ターゲットとターゲットベースの温度を下げるには、ターゲットベースに冷却水を継続的に供給する必要があります。ターゲットとターゲットベースの間に高い電気伝導率と熱伝導率を確保するために、ターゲットとターゲットベースの間にスズガスケットを追加することもできます。マグネトロンスパッタリングコーティングは、一般に、長方形または円筒形のスパッタリングカソードを使用します。
9、水冷システム
通常、冷水塔、氷水機、送水ポンプなどで構成されます。
10、産業用制御システム
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