Summary: 真空コーティング機 主に、真空抵抗加熱蒸発、電子銃加熱蒸発、マグネトロンスパッタリング、MBE分子線エピタキシー、PLDレーザースパッタリング堆積、イオンなど、多くの種類を含む、より...
真空コーティング機 主に、真空抵抗加熱蒸発、電子銃加熱蒸発、マグネトロンスパッタリング、MBE分子線エピタキシー、PLDレーザースパッタリング堆積、イオンなど、多くの種類を含む、より高い真空下で実行する必要があるコーティングの種類を指します。ビームスパッタリングの種類。主なアイデアは、蒸発とスパッタリングの2種類に分けられます。
電気制御キャビネットの操作
1.ウォーターポンプと空気源をオンにします。
2.主電源をオンにします。
3.メンテナンスポンプの電源と真空計の位置V1をオンにし、値が10未満になるのを待ってから、次の手順に進みます。約5分かかります。
4.メカニカルポンプをオンにし、プレポンプし、ターボ分子ポンプの電源をオンにして、起動します。真空計スイッチがV2の位置に変更されます。 2未満にポンプダウンするのに約20分かかります。
5.ターボ分子ポンプの読み取り値が250に達することを確認した後、プレポンプをオフにし、バッキングポンプと高真空バルブをオンにして真空を継続します。真空が一定のレベルに達したら、右側の高真空ゲージをオンにして真空を観察します。真空が2×10-3に達した後でのみ、電子銃の電源をオンにすることができます。
DEF-6B操作
1.総電源。
2.電子銃制御Ⅰと電子銃制御Ⅱ電源を同時にオンにします。電子銃制御Ⅰ電源、遅延スイッチを押すと、遅延、電源、保護ランプが点灯します。 3分後、遅延ライトと保護ライトが消灯します。バックドアが閉じていないか、水流リレーに障害がある場合、保護ライトは常に点灯します。
3.高電圧をオンにすると、高電圧は10KV以上に達し、ビーム電流は約200mAに調整でき、カーテングリッドは20V / 100mA、フィラメント電流は1.2A、偏向電流は1および1.7。
シャットダウンシーケンス
1.高真空計と分子ポンプの電源を切ります。
2.分子ポンプの表示が50に達したら、ハイバルブ、フロントステージ、およびメカニカルポンプを順番にオフにします。この時間は約40分かかります。
3. 50未満になったら、メンテナンスポンプを再度オフにします。3
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