特徴:
•優れたパフォーマンス
•広範な電力と周波数範囲
•高速アーク管理システム
•高度なアーク管理技術、低いアーク残留エネルギー
•柔軟性およびモジュラー設計構造
•高出力電流
•リーディングパワーテクノロジー
顧客利益:
•さまざまなプロセスおよびアプリケーションに合わせて調整可能
•薄膜の堆積、およびフィルムの均一性
•技術条件における高い堆積速度
•便利なシステム統合
•広範囲の電力規制
•高信頼性