コンパクト構造を備えた水冷却DC電源は、最高のコーティング品質を実現できるため、マグネトロンスパッタリングプロセスでパルス電源を置き換えることができます。
特徴：
•システムは反応時間を大幅に短縮し、残留アークエネルギーは最小レートに減少しました
•プロセスのアーク率が高い場合でも、フィルムが薄く均質であることを保証できます。
•非常に低いアークの残りエネルギー、速い回復
•高度なDCスパッタリングアプリケーション
•コンパクト構造で高出力を達成するには
•水冷電源
顧客利益：
•生産効率を大幅に改善します
•高性能フィルム品質
•40 kWを超える電源、およびシステム統合も非常に便利です
•システムの安定性が高く、メンテナンスが低い
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