コンパクトな構造の水冷DC電源は最高のコーティング品質を達成できるため、マグネトロンスパッタリングプロセスのパルス電源に取って代わることができます。
特徴：
•システムは反応時間を大幅に短縮し、残留アークエネルギーは最小速度に減少します
•プロセスのアークレートが高い場合でも、フィルムを薄く均一にすることができます。
•非常に低いアーク残留エネルギー、迅速な回復
•高度なDCスパッタリングアプリケーション
•コンパクトな構造で高出力を実現
•水冷電源
顧客の利益：
•生産効率を大幅に向上
•高性能フィルム品質
•40KWを超える電源、およびシステム統合も非常に便利です
•高いシステム安定性と低いメンテナンスコスト
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