DKアークイオンコーティング

アークイオンコーティング

PVD-物理的蒸気堆積
物理的蒸気堆積（PVDコーティング）の1つの形式は、アークイオンコーティングです。 PVDコーティングの履歴は、ARCテクノロジーの使用を開始しました。これは、ARC溶接に起源があります。

ターゲット

蒸発する金属は、真空チャンバーの内側に対して固体ブロック（ターゲット）として配置されます。輝く放電が点火され、ターゲット上で動作し、フットプリントが残ります。直径数μmの標的材料の小さな斑点が蒸発します。アークの動きは、磁石によって導かれます。

プラズマコーティング

蒸発したイオン化材料は、真空チャンバー内で回転する製品のプラズマコーティングとして使用されます。アークコーティングは、ツールコーティングおよび成分コーティングとして使用されます。

コーティングの例

アークコーティングの例は、スズ、アイティン、アイクル、ティシン、TICN、CRCN、CRNコーティングです

PVDアークプロセスの概略図。

アークコーティング技術の特徴：

高い堆積速度（1〜3μm/h）の高いイオン化、ターゲットが冷却されると良好な接着と密なコーティングをもたらし、基質への熱が生成されず、100℃未満の温度でのコーティングさえも生成されます。カソードは任意の位置（水平、垂直、逆さま）に配置でき、柔軟な機械設計を可能にします。

アークコーティング技術の主な欠点：

限られた種類の標的材料 - 金属のみ（酸化物なし） - 電流密度のために蒸発温度が低すぎないため、標的材料の量が小さな液滴として排出されます。

テクノロジー